紫外臭氧分析儀就是采用紫外線吸收法的原理，用穩定的紫外燈光源產生紫外線，用光波過濾器過濾掉其它波長紫外光，只允許特定波長通過。經過樣品光電傳感器，再經過臭氧吸收池后，到達采樣光電傳感器。通過樣品光電傳感器和采樣光電傳感器電信號比較，再經過數學模型的計算，就能得出臭氧濃度大小。
紫外臭氧分析儀主要特點：
1、校準方便，整機不需寄回原廠；免去麻煩的運輸過程及昂貴的運輸費用。同時可選擇多購一塊儀器分 析電路，在儀器校準的同時一樣可以使儀器工作。
2、儀器小巧，輕便；測量數據準確、快速。
3、儀器內置數據下載軟件，可與電腦同步，進行數據保存和分析。多達上萬組以上的數據儲存功。
紫外臭氧分析儀組成裝置的作用和要求：
1、 光度檢測器：光度檢測器能滿足在254nm波長下測量的靈敏度要求。
2、紫外燈：所產生的紫外光被檢測器接受的254nm的輻射至少占99。5%。
3、采樣泵：采樣泵安裝在氣路的末端，抽吸空氣流過臭氧分析儀，并能在儀器所需的流量和壓力條件下運轉。
4、 紫外吸收池：紫外吸收池應以不與臭氧起化學反應的惰性材料制成，并具有良好的機械穩定性。吸收池的臭氧損失不能大于5%。
5、流量控制器：控制流過臭氧分析儀的空氣流量恒定在選定流量值的誤差±2%范圍以內。
6、臭氧滌除器：空氣樣品經過臭氧滌除器除支臭氧和干擾氣體以后，進入吸收池，并由光度檢測器測出I0。臭氧滌除器的平均壽命由生產廠家給出。然而實際壽命由采樣環境而定。當臭氧滌除器對環境中的臭氧反應明顯降低（線性檢驗精度>1%）時，則應更換臭氧滌除器。
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